Plasmaanlagen
Deadline:15 Jan 2025, 00:00 CET
Tender information
TED EUSiegen, Germany
- Type
- 16
- Procedure
- open
- Ref. number
- 707518-2024
- CPV
- 42990000
Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) und Plasmareinigung zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten