Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
Deadline:13 Mar 2025, 00:00 CET
Tender information
TED EUGrenoble, France
- Type
- 16
- Procedure
- neg-w-call
- Ref. number
- 96717-2025
- CPV
- 31720000
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL …