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Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems

Tender information

TED EU

Leipzig, Germany

Type
29
Procedure
open
Ref. number
649568-2025
CPV
38500000

Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff u

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