- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 330094-2024
- Estimated value
- 1,600,000 EUR
- CPV
- 24000000
Hankinnan kohteena olivat mikroelektroniikan komponenttien valmistuksessa käytettävät prosessikemikaalit. Kemikaalien tuli olla laadultaan soveltuvia alle 0.5 μm (viivanleveys) rakenteiden valmistamiseen. Hankinnan kohte…
ena olevia kemikaaleja käytetään VTT:n puhdastilassa Espoossa (Micronova). ISO 4 luokan tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitetussa puhdastilassa valmistetaan pii-, lasi- ja ohutkalvomikrojärjestelmiä. VTT:llä on noin 50 tutkimusprojektia samanaikaisesti käynnissä puhdastilassa. Lisäksi puhdastilan l
aitteita, prosesseja ja kemikaaleja käyttää noin 20 ulkopuolista yritystä. Hankinta oli jaettu neljään osakokonaisuuteen: • Osakokonaisuus 1: Hapot, emäkset ja liuottimet • Osakokonaisuus 2.1: AZ-kehitteet • Osakokonaisuus 2.2: AZ-fotoresis