Acquisition d'un bâti de gravure de type RIE-ICP
Deadline:08 Mar 2024, 00:00 CET
Tender information
TED EUVilleurbanne, France
- Type
- 16
- Procedure
- open
- Ref. number
- 71714-2024
- CPV
- 38000000
Acquisition d’un bâti de gravure de couches minces et de substrats selon un procédé de type « RIE-ICP » ainsi que la formation des futurs utilisateurs pour l'Institut des Nanotechnologies de Lyon du CNRS