Inertkamrás párologtató és katódporlasztó rendszer

n gázzal töltött, és a berendezés részét képező gáztisztító és recirkuláltató egység segítségével <0,1 ppm koncentrációban tartalmaz O2-t és H2O-t az argon atmoszféra. A szabályozott argon atmoszféra teszi lehetővé a kamrán belül a fém lítiummal történő munkát (a Li nagy kémiai reaktivitása miatt a

levegőn való munka nem lehetséges) és az újgenerációs Li-ion (mint Li-S és szilárdtest) akkumulátorok előállítását, elektrolit betöltést és szilárdtest Li-ion elektrolit vékonyrétegek preparációját a katódporlasztó egységet felhasználva. A