Dual Beam
Tender information
TED EULeipzig, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- neg-w-call
- Ref. number
- 480514-2026
- Estimated value
- 2,352,941 EUR
- CPV
- 38000000
Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm…