LOT1 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte de C2N-CNRS selon les spécifications techniques indiquées dans le CCTP n°24002.

et à couplage capacitif (CCP-RIE). La consultation est découpée en trois (3) lots : - Le LOT N° 1 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) et sa garantie de vingt-quatre (24) mois pour le compte

de C2N-CNRS, - LOT N° 2 : Fourniture, acquisition, livraison, installation, mise en service d’une (1) machine neuve de gravure ionique réactive à couplage inductif (ICP-RIE) avec fourniture du module ALE et sa garantie de vingt-quatre (24)