Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems
Tender information
TED EUMünchen, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 269482-2024
- CPV
- 38400000
Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung eines dedizierten Elektro-nenstrahllithographiesystems zur nanoskaligen Strukturierung dünner Polymerfilme mittels elektrostatischer Rasterung eines fokussi…