Accord-cadre de la fourniture de groupe de pompage et de système d’abattement des effluents intégré

ront être rattachés à l'un de ces ateliers : dépôt (PVD process, PVD pre-clean...), gravure (oxide Etch, Silicon Etch...), epitaxie, implanteur, traitement thermiques, recuit rapide... Les pompes devront être de type sèche et disposer d'un mode idle. Les pompes raccordées au système d’abattement pou

rront être amenées à être rattachées à l’une de ces 3 types de chambres : - Medium : gaz corrosifs - Harsh : gaz corrosifs, poudres, gaz explosifs Le système d'abattement devra disposer d'un mode idle.