Dostawa dynamicznego spektrometru mas jonów wtórnych.

lnie wprowadzonych domieszek jak i nieintencjonalnych zanieczyszczeń. Urządzenie musi zapewnić wykonanie precyzyjnych analiz pierwiastkowych i izotopowych w półprzewodnikach azotkowych, takich jak kryształy domieszkowane i implantowane. Urządzenie musi umożliwiać profilowanie głębokościowe z wysoką

rozdzielczością oraz szerokim zakresem dynamicznym, a także oferować doskonałe limity detekcji dzięki dwóm źródłom jonów o wysokiej gęstości (O2+ i Cs+). Spektrometr musi być wyposażony w system automatycznego ładowania próbek, co zapewni z