Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm

s substrats de 200 mm sur des structures pouvant avoir un rapport d’aspect élevé (jusqu'à 200:1) Le marché comporte les options* avec chiffrage obligatoire suivantes : - Option n°1 : La fourniture et l’installation d’une seconde chambre ALD thermique conformément aux exigences formulées dans le para

graphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°2 : La fourniture d’une microbalance à cristal de quartz conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) Le marché comporte les options* avec c