maskenloses Laserlithographie System

ng, Geschwindigkeit und Flexibilität. Der Anbieter muss sicherstellen, dass das angebotene System die technischen Spezifikationen erfüllt: siehe Anlage 2

Das Ziel der Anschaffung eines maskenlosen Laserlithographie Systems ist es, nahezu jedes Lithographie Muster ohne Fotomaske zu entwerfen und zu schreiben. Nach unserer Erfahrung erfordert dies die höchstmögliche Auflösu