Betriebsbereite Lieferung eines Gerätes zur chemischen Gasphasenabscheidung mit induktiv gekoppeltem Plasma

oxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxinitrid-Schichten beschafft werden inkl. betriebsbereiter Lieferung. Nähere Informationen können Sie den Vergabeunterlagen entnehmen

Unter der Leitung des Fachgebiets Technische Elektronik der Universität Kassel soll ein Gerät zur chemischen Gasphasenabscheidung mit induktiv gekoppeltem Plasma für die Abscheidung von qualitativ hochwertigen Siliziumdi