Auto wet bench systems

n transportdozen die in de cleanroom worden gebruikt. De doos-/cassette-reiniger mag geen gereviseerd apparaat zijn. 1 box-/cassette-reinigingssysteem voor gebruik in een clean room

Het doel van de aanbesteding is dat TNO een contract wil sluiten met één (1) aannemer voor de levering van één (1) box-/cassette-reinigingssysteem, geschikt voor het semi-automatisch reinigen van 6-inch wafer-cassettes e