Zur Charakterisierung und Beurteilung der hergestellten Strukturen ist eine elektrische Charakterisierung notwendig. Die Messungen sollen auf Waferlevel durchgeführt werden, um eine ausreichende Datenbasis aufzunehmen. Z…
ur elektrischen Kontaktierung und deren Steuerung wird ein Waferprober benötigt, der einen manuell eingeladenen Wafer automatisiert abfährt (halbautomatische Messung). Die Messungen sollen sowohl mittels einzelner Sondenspitzen als auch einer Sondenkarte und DC- wie auch RF-Messungen umfassen. Aufga
be des Waferprobers ist die Positionierung und Kontaktierung der Probe. Die Messung selbst wird durch andere Geräte durchgeführt, die nicht Teil der Ausschreibung sind. Auftragsgegenstand • Anlagen gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbet