Automated spin coating robot with dual glovebox platform

von der Substratvorbereitung über Spin Coating, Tempern, Lösungsmittel oder Vakuumabschrecken bis hin zu optischen/elektrischen Tests – und dabei die Reinheit und Sicherheit der Glovebox Klasse gewährleisten.

Das HelmholtzZentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) benötigt eine integrierte Roboter-Glovebox-Plattform für die automatisierte Fertigung und Prüfung. Das System soll den gesamten Arbeitsablauf abdecken –