Das FIB-SEM-System vereint eine FIB (focused ion beam)-Einheit und eine SEM (scanning electron microscope)-Einheit in einem Gerät. Die FIB-Einheit wird sowohl zum gezielten Implantieren mit isotopenreinen Ionenarten bzw.…
Beschießen eines (Diamant-) Substrats mit Ionen als auch zur Erzeugung von kleinen Strukturen mit einer Größe im Mikro- bzw. Nanometerbereich an der Oberfläche des Substrats verwendet. Durch die SEM-Einheit können kleinste Oberflächenstrukturen in der Größenordnung von wenigen Nanometern abgebildet
und dadurch charakterisiert werden. Erweitert wird der Funktionsumfang des Geräts durch ein Gas-Injektions-System (GIS) und einen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)-Detektor. Das Gerät wird von einer wechselnden Nutzer-gruppe mi