Kauf, Lieferung und Installation eines Röntgenphotoelektronenspektrometers

ektrometer-Messsystem (XPS) muss über eine mikro-fokussierte, monochromatische Al K-Röntgenquelle mit einer in mindestens 5 µm-Schritten einstellbaren Spotgröße von 10 - 400 µm und einer mit 12 keV Betriebsspannung betriebenen Elektronenquelle verfügen. Die Maximalleistung bei 400 µm-Spotgröße muss

bei mindestens 120 W liegen und der Betrieb über Hochspannungs-, Kühlwasser-, Vakuum- und mechanische Interlocks abgesichert sein. Die Aluminium-Anode muss wassergekühlt sein und motorisiert mehr als 20 Betriebspositionen anfahren können.