Lotto 1: Sistema di deposizione fisica (Sputtering RF e DC) di film sottili di dielettrici, metalli e nitruri

ILI DI DIELETTRICI, METALLI E NITRURI LOTTO 2 SISTEMA DI DEPOSIZIONE CHIMICA A STRATI ATOMICI CON DEPOSIZIONE PER VIA TERMICA E ASSISTITA DA PLASMA PE-ALD DI FILM SOTTILI DI DIELETTRICI, METALLI E NITRURI NELL AMBITO DEL PROGETTO IPCEI CUP B63C22002390006

PROCEDURA APERTA SOPRA SOGLIA COMUNITARIA PER L AFFIDAMENTO DELLA FORNITURA, INSTALLAZIONE E RESA OPERATIVA DI STRUMENTAZIONE SCIENTIFICA IN 2 LOTTI LOTTO 1 SISTEMA DI DEPOSIZIONE FISICA -SPUTTERING RF e DC -DI FILM SOTT