Maskenlose Lithographie
Tender information
TED EUGarching b. München, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- neg-wo-call
- Ref. number
- 205638-2026
- Estimated value
- 440,000 EUR
- CPV
- 38000000
Lithographiegerät für maskenlose submikrometer Strukturierung von photoempfindlichen Polymeren