Im Rahmen der Quantencomputing Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung…
des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Hierzu gehören auch Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Teil der Prozesskette sind die A
bscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse werden Verfahren zur Charakterisierung