Beschaffung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage

s Angebot der Firma OXFORD Instruments GmbH anzunehmen und nach Ablauf einer Frist von zehn Kalendertagen nach der Veröffentlichung dieser Bekanntmachung den Vertrag zu schließen.

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für chlorhaltige Gase – Beschaffung für den weiteren Ausbau des Kompetenzzentrum für Hochauflösende Supraleitende Sensoren (HSS). --- Das Karlsruher Institut für Technologie (KIT) beabsichtigt, da