Fourniture d’un équipement de recuit millisecondes

du MOL, nécessaires pour le développement des technologies avancées FDSOI 10nm et au-delà. Le marché envisagé comprend des options techniques qui sont décrites dans le dossier de consultation.

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un équipement de recuit millisecondes. Cet équipement est destiné à traiter des plaques de 300mm de diamètre et sera utilisé pour la réalisation des étapes de recuits du FEOL et