Direktschreiblithographie-System

d es darf durch den Betrieb keine nennenswerte Partikelemission ausgehen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein un