- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 3903-2025
- Estimated value
- 3,000,000 CZK
- CPV
- 42131144
Předmětem zakázky je dodávka zařízení, které rozšíří stávající instalace CVD pece (SVFurR21409-ALH4-CEITEC od SVCS, sériové číslo ZA14075) o 4. pozici, která bude zajišťovat růst oxidu na křemíkových substrátech. Současn…
á linka bude používána pro dopování fosforem, nebude tedy nutné zdlouhavě vyměňovat křemenné komponenty. Dodávka v rámci této veřejné zakázky bude obsahovat topnou trubici se zavaděčem (kompatibilní se současným karbidovým pádlem), přívod plynů (napojitelný na současný externí spalovač vodíku EBS),
elektroniku a propojení se současným řídícím SW. Součástí zakázky je instalace do stávajícího rámu se 3 současnými trubicemi. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou souč