Fornitura, installazione e messa in funzione di un sistema di litografia a fascio elettronico (EBL) per la fabbricazione di nanodispositivi ibridi semiconduttore superconduttore

Tecnologia Quantistica (QST), istituito nell’ambito del Piano nazionale di ripresa e resilienza NRRP Missione 4 Componente 2 Investimento 1.3, finanziato dall’Unione europea – NextGenerationEU.

Il presente acquisto si inserisce all’interno del programma Partenariati Estesi, rif. avviso MUR n. 341 del 15 marzo 2022 e dell’attività di ricerca del progetto “NQSTI”, il partenariato esteso allargato sulla Scienza e