Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).

à réaliser les dépôts suivants : nitrure de Titane (TiN), oxyde d’indium-étain (ITO), nitrure d’aluminium scandium (ScAlN), nitrure d’aluminium (AlN). Le marché envisagé comprend les tranches suivantes : - Une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - Une tranche optionnelle n°1 relative

à la fourniture d’une chambre PLD. Le marché envisagé comprend également les options suivantes : Options avec chiffrage obligatoire : o OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau Options avec chiffrage facultatives : o OPT2 : Formatio