Litho Mask Aligner system

an i-line‑photoresistlagen op 6”-InP‑wafers. De levering van één (1) Litho Mask Aligner, geschikt voor het volledig automatisch alignen en exposeren van i-line‑photoresistlagen op 6”-InP‑wafers.

Het doel van deze aanbesteding is dat TNO voornemens is een overeenkomst te sluiten met één (1) opdrachtnemer voor de levering van één (1) Litho Mask Aligner, geschikt voor het volledig automatisch alignen en exposeren v