Fourniture d’un équipement de collage plaque sur plaque avec alignement de haute précision 300mm

ollages de plaques sur plaques, et devra disposer des fonctionnalités d’activation de surface par traitement plasma, de nettoyage de surface, de décollement de plaques et d’une mesure intégrée de l’alignement obtenu.

Le CEA-Leti souhaite acquérir une machine de collage direct de plaque sur plaque avec un alignement de haute précision inférieure à 100nm. Cet équipement devra traiter des plaques de 300mm de diamètre pour réaliser des c