AVVISO DI INDAGINE ESPLORATIVA DI MERCATO PROPEDEUTICA ALL’INDIZIONE DI UNA PROCEDURA NEGOZIATA SENZA PUBBLICAZIONE DI UN BANDO AI SENSI DELL’ART. 76 COMMA 2, LETTERA B, PUNTO 2, DEL D. LGS. 36/2023 PER L’AFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI LITOGRAFIA ELETTRONICA (EBL) PROGETTO DFM.AD003.511 QTECH-STRADA - TERMINE PRESENTAZIONE ISTANZA DI PARTECIPAZIONE ORE 19:00 DEL 26/07/2024

ad almeno ~40nA; 2)Stabilità della corrente del fascio migliore dello 0,2%/h; 3)Dotato di picoamperometro per la determinazione della corrente del fascio di scrittura; 4) Risoluzione linea < 8 nm; 5)Deflessione elettrostatica del fascio elettronico; 6) Beam Blanker “tail free” al punto di cross-over

; 7) Sorgente di elettroni termica ad emissione di campo; 8) Rivelatore di elettroni secondari; 9) Pattern Generator: Scan clock 50MHz, DAC 20bit e firmware aggiornabile; 10) Insieme minimo delle modalità di scrittura: a) Scrittura algoritm