- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 777543-2024
- Estimated value
- 9,000,000 CZK
- CPV
- 31700000
Předmětem plnění veřejné zakázky je dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství. Systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů…
, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší. Systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000 °C a teplotou vzorku/sub
strátu až do 800 °C. Velikost systému v konfiguraci bez chilleru musí být kompatibilní s velikostí laboratoře a tedy s max. rozměry 3 m x 1.7 m. Systém musí obsahovat softwarové ovládání založený na technologii tango, pro nastavení, monitor