ICP-Ätzanlage
Deadline:16 Jan 2025, 00:00 CET
Tender information
TED EUPaderborn, Germany
- Type
- 16
- Procedure
- open
- Ref. number
- 772950-2024
- CPV
- 38970000
Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität…