Acquisition et installation d'un cluster de dépôts de films minces multi techniques pour les nouvelles générations de batteries

e dépôt physique en phase vapeur, Physical Vapor Deposition (PVD)) intégrant également une boite à gants (atmosphère contrôlée) pour les tests électrochimiques et des outils de métrologie in situ pour contrôler le plus finement possible la qualité et la composition des films nanométriques déposés.

Le marché a pour objet l’acquisition d’un cluster de synthèse de films minces en technologie de dépôt par couches atomiques (Atomic Layer Deposition, ALD), pulvérisation magnétron et évaporation thermique (2 techniques d