Suministro de un equipo de litografia óptica sin mascara, como parte de las LA1, A2 y A3, Convenio de Colaboracion entre el Gobierno de Aragon, Universidad de Zaragoza e ITAINNOVA para la ejecucion de lineas de actuación de I+D+i, financiado por la Union Europea NextGenerationEU/PRTR, en el marco de los planes complementarios previstos en el Plan de Recuperacion, Transformacion y Resilencia-MRR.

nsionales LA2. Materiales para la Energía y LA3 Materiales inteligentes con funcionalidades avanzadas. El equipo objeto del contrato tiene aplicaciones en microelectrónica y semiconductores, espintrónica, MEMS, sensores, microfluídica, nanotecnología, grafeno y otros materiales 2D, entre otras¿, por

lo que cubrirá esta necesidad. Este equipo de litografía óptica de altas prestaciones ofrece una gran versatilidad dado que se podrá usar tanto para fabricar máscaras como para prototipado sobre casi cualquier tipo de sustrato, fotomáscara