Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et préparés d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet c

himique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamètres, épaisseurs et matériaux.