Adquisición de un equipo de planarización químico-mecánico de obleas de semiconductores

ompleto a usuarios externos, tanto grupos de investigación como empresas. Disponer de una herramienta de planarización Química Mecánica a nivel nanométrico aumentaría los servicios ofertados, cubriendo aplicaciones requeridas en campo de los semiconductores (pulido de caras para acoplo y planarizaci

ón de capa en dispositivos multicapa y multioblea). Asimismo, facilitaría el acceso por parte de los grupos de investigación del instituto a proyectos de investigación competitivos que se ve dificultada en la actualidad por la falta de este