Plasmaanlagen
Tender information
TED EUSiegen, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 92078-2025
- Estimated value
- 1 EUR
- CPV
- 42990000
Plasmaanlagen für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) und Plasmareinigung zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten