Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung

, manuellen Messsysteme („Hand AFM“ CO 404820) soll durch ein teilautomatisiertes System ersetzt werden, das sowohl in der Fertigung als auch für F&E-Untersuchungen zum Einsatz kommen soll. Die zu entwickelnde AFM-Stage kombiniert eine Translations- mit einer Rotationsstage, so dass mehrere Proben i

n einer Messreihe automatisiert gemessen werden können (Batch-Messung), während gleichzeitig die Probenrotation jeder einzelnen Probe bzgl. des Messkopfes automatisch korrigiert werden kann. Die Translations-/Rotationsstage soll die Arbeite