Système de mesure intégré pour son équipement Applied Materials MIRRA-DESICA

MP. Il doit manipuler et mesurer des plaques de silicium de 200 mm de diamètre, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium et mesurer des plaques avec ou sans motifs.

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son équipement Applied Materials MIRRA-DESICA. Cet équipement doit être entièrement intégré et connecté à l'équipement de C