Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)
Tender information
TED EUMünchen, Germany
- Type
- 38
- Ref. number
- 762826-2025
- CPV
- 73100000
Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)