Prestations de nettoyage de boîtes et paniers pour les plaques de silicium des salles propres du pôle MINATEC du CEA-Leti/DPFT et du site d'INES du CEA-Liten/DTS.

es plaques de silicium pour la microélectronique. Les articles sont utilisés dans le cadre d'activités en micro, nanotechnologie pour des plaques de diamètres 200 et 300mm, dans des environnements de salles propres de classes comprises entre ISO3 et ISO8 (suivant la norme ISO 14644-1). La présente c

onsultation comprend : - une tranche ferme d'une durée de 3 ans. - une tranche optionnelle n°1 de prolongation des prestations d'une durée d'un an.