System for electron beam lithography - REISSUE
Tender information
TED EUPraha, Czechia
- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 754349-2024
- Estimated value
- 1,000,000 EUR
- CPV
- 38636000
Předmětem veřejné zakázky je dodávka systému pro vytváření libovolných tvarů s rozlišením v řádu alespoň 20 nm pomocí fokusovaného svazku elektronů na povrchu pokrytém elektronově citlivým filmem. Systém musí dále umožňo…