- Procedure
- Negotiated without prior call for competition
- Ref. number
- 692067a4-6f37-42f6-96c1-d2dace77c125
- CPV
- 51500000
Unsere vorhandene PECVD Clusteranlage, zur Herstellung von amorphen Dünnschichtmaterialien, soll auch im neuen INCYTE Gebäude weiterbetrieben werden. Dazu muss diese im Gebäu-de Hölderlin E abgebaut und INCYTE erneut auf…
gebaut und von einer Fachfirma in Betrieb genommen werden.
In der PECVD Clusteranlage der Firma MVS werden und wurden zum dotieren der Silizium-schichten, meist hoch-toxische Gase verwendet. Ein Abbau, Dekontamination und Wiederaufbau inkl. Aktualisierung aller Systemkomponenten, Anbindung an die S
icherheitsinfrastruktur des Forschungsneubaus und Vorabtests im Bestand (Gaswarnsysteme) sowie die Erstellung einer umfassenden Dokumentation sind daher sicherheitsrelevant und sehr komplex.