Vapour-HF-Ätzsystem
Deadline:05 Mar 2026, 10:00 CET
Tender information
DE_BKMSJena, Germany
- Type
- goods (tender)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 140c9ea7-ba89-4e6e-8d36-49779d4076b5
- CPV
- 38000000
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena plant die Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle, die an Siliziumfäden mit kleinster, aber wohldefinierter Federkonstant…