System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Tender information
DE_BKMSFrankfurt (Oder), Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 4c8805d2-cdf0-40ae-a414-4432ebe9ae9e
- Estimated value
- 2,335,634 EUR
- CPV
- 38000000
System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS