Durchführung von fotolithographischen Arbeiten zur Herstellung von Teststrukturen und Bauelementen für das Projekt TemCrysT

resse: www.namlab.com b) Vergabeart: Freihändige Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb; Vergabenummer: 605995 c) Auftragsgegenstand: Die NaMLab gGmbH besitzt keinen eigenen Maskalinger und keinen eigenen Fotobelichter. Für das Forschungsprojekt TemCrysT werden Belichtungen von Wafern mit Photolack zur Pr

ozessierung von Template-Wafern benötigt. Die benötigten Belichtungsprozesse wurden in früheren Forschungsprojekten gemeinsam mit der TU Dresden entwickelt und sollen von der TU Dresden, Institut für Halbleiter und Mikrotechnik bezogen werd