UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Tender information
DE_BKMSIlmenau, Germany
- Type
- tender
- Procedure
- Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
- Ref. number
- 0e83c92c-29d9-43b1-9a04-e24e33f05070
- Estimated value
- 442,000 EUR
- CPV
- 38000000
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtun…