3-Achsen Piezo Scanner-System für hochpräzise translatorische Bewegung

im Bereich der Nanotechnologie wird die vertikale Z-Bewegung genutzt, um den Abstand zwischen einer Probe und einer nanoskaligen Spitze in Abhängigkeit einer Regelgröße konstant zu halten. Die Positionierung muss auf weniger als einen Nanometer genau ausgeführt werden können. In horizontaler XY-Rich

tung muss die Probe auch während der Positionsregelung in Z-Richtung mit vergleichbaren Anforderungen an die Präzision bewegt werden können. Das System soll in einer bestehenden Vakuumkammer eingesetzt werden und ist daher im Bauraum beschr