Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems

erten, hochenergetischen Elektronenstrahls für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten.

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung eines dedizierten Elektro-nenstrahllithographiesystems zur nanoskaligen Strukturierung dünner Polymerfilme mittels elektrostatischer Rasterung eines fokussi